EDA-системы для подготовки топологии кремниевых микросхем

Программное обеспечение для автоматизированной коррекции и симуляции литографии при подготовке управляющей информации к производству кремниевых микросхем.

Данные актуальны на 2026-09-21 · Приказ Минпромторга России от 09.09.2026 № 4694 (сводные приоритетные направления)

Основной класс ПО

EDA-Системы автоматизации проектирования электрооборудования и электрических схем

Бизнес-функции

  • Производство кремниевых микросхем
    • Подготовка производства
      • Подготовка управляющей информации

Функционально-технологические требования (ФТТ)

  1. Визуальный редактор и просмотр топологии на уровне кадра
  2. Автоматизированная коррекция топологии на основе правил (rule-based)
  3. Автоматизированная коррекция топологии на основе моделей (model-based)
  4. Встроенная симуляция процесса литографии с поддержкой моделей резиста и травления
  5. Генерация тестовых изображения для контроля качества и калибровки
  6. Фрагментация топологии
  7. Автоматизированная обработка топологии
  8. Верифкация топологии для изготовления шаблонов (MRC) и процессов литографии (LRC)

Похожие проекты

Разработка схемной ЭКД на модули, приборы, системы и комплексы Разработка схемной ЭКД на кабельные сети Двухсторонняя передача данных между ECAD и MCAD Интеграция с PLM и ее библио…

Выбор источников питания Выбор резервирования Проектирование защиты от КЗ Размещение в корпусе с учетом охлаждения Проектирование кабельной разводки Защита от динамических и акусти…

Референсы публичных ОЗП

Раздел готовится: подберём публично поддержанные проекты и мировые аналоги с сопоставимыми ФТТ.

Как подать

  1. Найдите открытую нишу

    Проверьте, что ваше решение закрывает ФТТ конкретной ниши из каталога: приоритетные направления ещё открыты и в них можно подать проект.

  2. Оцените соответствие

    Уровня TRL ≥ 5 (доказанный прототип), класс ПО, софинансирование от 20% (ИИ) или от 50% (остальные), срок 12–48 месяцев.

  3. Зарегистрируйтесь в каталоге мер поддержки

    Заявка подаётся через федеральный портал «Совместно» / каталог мер поддержки: подтверждённая учётная запись организации.

  4. Подготовьте заявку по шаблону

    Бизнес-кейс по форме РФРИТ: проблема импортозависимости, ФТТ, план-график, бюджет, обязательства по выручке, налогам и тиражированию.

  5. Защитите проект

    Заседание отраслевого комитета и экспертной комиссии РФРИТ. При поддержке — соглашение и регулярная отчётность.

Калькулятор условий

Грант (максимум)
Софинансирование (минимум)
Обязательство по выручке
Обязательство по налогам