CAE-моделирование процессов осаждения в микроэлектронике

CAE-средства для численного моделирования жидкостного, плазмохимического и атомно-слоевого осаждения. Обеспечивают разработку технологических процессов производства микроэлектронных компонентов.

Данные актуальны на 2026-09-21 · Приказ Минпромторга России от 09.09.2026 № 4694 (сводные приоритетные направления)

Основной класс ПО

CAE-Средства инженерного анализа (обеспечения инженерных расчетов)

Дополнительные классы ПО

  • MM-Системы математического моделирования для решения задач технических вычислений

Бизнес-функции

  • Разработка средств производства микроэлектроники
    • Разработка новых и внедрение существующих технологических процессов
      • Моделирование технологических процессов осаждения жидкостное, плазмохимическое, физическое, атомно-слоевое

Функционально-технологические требования (ФТТ)

3D-модель установки или камеры, спецификация на процесс, численное моделирование процесса, спецификация на материалы процесса, платформа симуляции и моделирования

Похожие проекты

Библиотека параметров шин. Получение характеристик шин применяемых типоразмеров от различных поставщиков по результатам испытаний и подбор соответствующих параметров для различных …

Референсы публичных ОЗП

Раздел готовится: подберём публично поддержанные проекты и мировые аналоги с сопоставимыми ФТТ.

Как подать

  1. Найдите открытую нишу

    Проверьте, что ваше решение закрывает ФТТ конкретной ниши из каталога: приоритетные направления ещё открыты и в них можно подать проект.

  2. Оцените соответствие

    Уровня TRL ≥ 5 (доказанный прототип), класс ПО, софинансирование от 20% (ИИ) или от 50% (остальные), срок 12–48 месяцев.

  3. Зарегистрируйтесь в каталоге мер поддержки

    Заявка подаётся через федеральный портал «Совместно» / каталог мер поддержки: подтверждённая учётная запись организации.

  4. Подготовьте заявку по шаблону

    Бизнес-кейс по форме РФРИТ: проблема импортозависимости, ФТТ, план-график, бюджет, обязательства по выручке, налогам и тиражированию.

  5. Защитите проект

    Заседание отраслевого комитета и экспертной комиссии РФРИТ. При поддержке — соглашение и регулярная отчётность.

Калькулятор условий

Грант (максимум)
Софинансирование (минимум)
Обязательство по выручке
Обязательство по налогам